서브마이크로 수준 초정밀 검사 솔루션 'VEO Focus'
2024-01-04
- 고객 요구에 맞춰 5가지 광학 구성 조정, 맞춤형 솔루션 제공
- 서브마이크로(Sub-Micro)
수준 초미세 검출력으로 디스플레이, 반도체 검사에 최적화
의료 및 산업용 영상 솔루션 전문기업 뷰웍스(대표 김후식)가 고객의 요구 사양에 맞춰 렌즈 · 카메라 · 조명 등의 각 파트를 맞춤형으로 커스터마이징 할 수 있는 초정밀 검사용 광학 솔루션을 선보였다고 4일 밝혔다.
뷰웍스가 개발한 ‘VEO Focus’는 고감도 산업용 카메라와
이에 최적화된 고배율 렌즈를 조합해 서브 마이크로(Sub-Micro, 1마이크로미터 이하) 수준의 결함을 검사, 생산 수율을 극대화하는 솔루션이다. 디스플레이와 반도체 산업의 기술적인 성장에 힘입어 고사양의 검사 시스템 수요가 커짐에 따라 자동 초점 모듈을
일체화한 통합 솔루션을 제공한다는 방침이다.
‘VEO Focus’의 활용 분야는 OLED · 마이크로 LED 디스플레이, 반도체, PCB(인쇄회로기판) 결함
검사 등 대면적, 고배율의 촬영이 요구되는 영역이다. 디스플레이
검사 공정에 투입될 경우 주로 표면의 불균일 패턴과 불량 화소 검사에 활용되며, PCB 검사 공정에서는
서브마이크로 수준의 회로 손상과 핀 홀(기판 표면의 작은 구멍) 유무
검사 등에 활용된다.
‘VEO Focus’는 ▲카메라 ▲경통과 결합된 렌즈 ▲조명계 ▲모션제어부를
포함한 자동초점 모듈 ▲정밀 광학 세팅 유닛 총 5종의 파트로
구성되며, 이를 고객사가 요구하는 사양에 맞춰 커스터마이징 할 수 있다. 특히 뷰웍스가 자체 개발한 자동 초점 모듈을 결합해 PC와
같은 별도의 영상 처리 장치 없이도 초당 최대 3,000회까지 촬영,
실시간으로 피사체의 위치 변화를 계산해 정확한 이미지를 획득할 수 있게 한다.
우수한 결함 감지 성능도 갖췄다. 고성능 TDI(Time Delayed Integration) 라인 스캔 카메라
‘VTDI’와 이에 최적화된 렌즈 ‘VEO’의 결합으로 전체 검사 영역에서 고화질의 영상
획득이 가능하다. 0.3~0.4마이크로미터 수준의 극도로 미세한 결함까지 감지할
수 있으며, 조명계를 결합해 촬영 대상의 시인성을 한층 더 높였다.
한편 ‘VEO Focus’의 구성요소인 고해상도 TDI 라인 스캔 카메라 ‘VTDI’는 뷰웍스가 독자 개발한 하이브리드
센서가 적용된 라인업이다. CCD(Charge Coupled Device),
CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 센서의 장점만을 결합해 선명한 화질 구현 성능과
빠른 영상처리 속도를 겸비해 초고속 촬영 환경에서도 선명한 영상을 구현할 수 있다.
뷰웍스 관계자는 “디스플레이,
반도체 부분의 양적 성장 및 기술적 성장에 힘입어 서브마이크로 검사 장비 수요가 떠오르면서, 그에
필요한 가치를 제공할 수 있는 방안을 지속적으로 모색해 왔다”며, “최첨단 기술의 응집으로 반도체, 고집적 PCB, 디스플레이 검사 시장에서 기술 우위를 더욱 공고히 다질 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.
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VEO Focus 시스템 상세 소개 페이지(링크)
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